실바코의 Victory TCAD 솔루션에 의한 물질 및 모델링 특성 수정

이번 시간에 시뮬레이션을 위한 모델 설정, 물질 및 모델링 특성 수정, 다양한 공정에 대한 시뮬레이션 보정을 소개합니다.

다음 사항을 살펴봅니다.

  • 실바코 물질 데이터베이스(SMDB, Silvaco Material Database) 기본
  • METHOD 구문으로 모델링 특성 설정
  • MATERIAL 및 INTERFACE 구문으로 물질 특성 설정
  • 시뮬레이션과 관련된 모델 보정
  • Silver (물질 데이터베이스의 GUI) 기본


발표

Simonka Vito Simonka 박사는 Maribor 대학에서 물리학 학사(2012년) 및 석사(2015년) 학위를, 빈 공과대학의 마이크로일렉트로닉스 연구소에서 박사(2018년) 학위를 받았습니다. 실바코 유럽에서 TCAD 개발 엔지니어로서 최첨단 반도체 공정 시뮬레이션을 담당하고 있습니다. 실리사이드 외에 확산 모델, 물질 데이터베이스, 임플란트 모듈, 산화 기능에 많은 기여를 했습니다.



참석 대상

반도체 공정 시뮬레이션, 특히 반도체 내부의 확산에 관심있는 소자 및 공정 엔지니어, 경영진.